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晶圓片視覺檢測設備

2019-11-06 10:53:31

晶圓片視覺檢測設備應用案例——深圳市思普泰克科技有限公司


一:檢測內容及要求


檢測工件面積:


         長4.23mm*寬4.199mm*高0.3mm樣件的外觀檢測               


檢測內容:            


               1:底部正光檢測外觀


               2:頂部正光檢測外觀



注明:以上檢測項目,均需要在影像下清晰可見才能檢測


檢測效率:每分鐘檢測200-250,數量根據樣件送料速度。


分工段進行:按照檢測內容細分檢測步驟.


二: 設備組成及主要機構




整體構成:尺寸:  900*800*1850  mm




1:思普泰克視覺檢測軟件


2:工業電腦


3:顯示器   19寸


4:工業相機: 2套    1個底部正光 、1個頂部正光)        


5:工業鏡頭:2套    2個遠心鏡頭)  


6:專業玻璃盤


7:電磁閥


8:減速機


9:振動柜


二.1: 設備外觀3D立體圖



三:1 底部正光檢測方式


底部檢測效果原圖:



三:1  底部正光檢測方式


底部檢測良品分析圖:OK



三:1  底部正光檢測方式


底部檢測不良品(崩邊)分析圖:NG



三:1  底部正光檢測方式


底部檢測不良品(邊緣不良)分析圖:NG



三:2 頂部正光檢測方式


頂部檢測效果原圖:



三:2  頂部正光檢測方式


頂部檢測良品分析圖:OK



三:2  頂部正光檢測方式


頂部檢測不良品(臺面玻璃不良)分析圖:NG



三:2  頂部正光檢測方式


頂部檢測不良品(臺面小孔)分析圖:NG



四.系統安裝要求:


設備放置的檢測空間: 在流水線邊單獨安裝思普視覺檢測系統,需要保證有足夠的空間以安裝設備。


環境溫度: 0-50攝氏度;


空氣濕度: 90% RH以下;


電子干擾: 為設備提供電子干擾較小的地方。


電源:     交流220V,50Hz,  耗電<1KVA


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